[发明专利]在等离子室中包围半导体工件的导电挡圈有效
| 申请号： | 02807275.8 | 申请日： | 2002-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN1531739A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 马绍铭;拉尔夫·H·M·斯特劳贝 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 杜娟;肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 包围 半导体 工件 导电 | ||
【说明书】：
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