[发明专利]带有可移动透镜的光刻装置和在存储媒体中制作数字全息图的方法有效
申请号: | 02807622.2 | 申请日: | 2002-03-28 |
公开(公告)号: | CN1500233A | 公开(公告)日: | 2004-05-26 |
发明(设计)人: | 斯蒂芬·诺特;克利斯托弗·迪特利奇;罗伯特·托曼;斯蒂凡·斯塔德勒;约恩·雷博 | 申请(专利权)人: | 特萨斯克里伯斯有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03H1/08;G03F1/08 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 蒋世迅 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 移动 透镜 光刻 装置 存储 媒体 制作 数字 全息图 方法 | ||
【说明书】:
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