[发明专利]离子源灯丝和方法无效
| 申请号： | 02807672.9 | 申请日： | 2002-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1526154A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 詹米·M·雷耶斯 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 灯丝 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备联合公司，未经瓦里安半导体设备联合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02807672.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显象管和显示装置
- 下一篇：容纳盘状物体的装置和该物体的搬运装置
