[发明专利]具有多个绕组线圈的感应等离子处理器和控制等离子浓度的方法有效
| 申请号： | 02809353.4 | 申请日： | 2002-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1507646A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | J·J·陈;R·G·费尔托普;T·E·威克 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 绕组 线圈 感应 等离子 处理器 控制 浓度 方法 | ||
【说明书】：
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