[发明专利]微机电可调谐垂直腔光电器件及其制造方法无效
| 申请号： | 02810125.1 | 申请日： | 2002-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN1509406A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | E·卡彭;V·伊亚科夫勒夫;A·西尔布;A·鲁德拉;G·叙鲁切努 | 申请（专利权）人： | 洛桑生态综合技术联合公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;黄力行 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 调谐 垂直 光电 器件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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