[发明专利]工件湿法处理有效
| 申请号： | 02810215.0 | 申请日： | 2002-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1509348A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 阿瑟·凯格勒 | 申请（专利权）人： | 湿法技术公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 湿法 处理 | ||
【说明书】：
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