[发明专利]带凹槽的溅射靶有效
| 申请号： | 02810802.7 | 申请日： | 2002-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1527887A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | T·J·亨特;H·J·克尼斯曼;P·S·吉尔曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯S.T.技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K28/00;B23K33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;章社杲 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹槽 溅射 | ||
【权利要求书】：
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