[发明专利]用于微沉积控制的波形发生器有效
| 申请号： | 02811120.6 | 申请日： | 2002-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1512917A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 查尔斯·O·爱德华兹;戴维·艾博尔塔利;詹姆斯·米德莱登;乔治·法玲汉姆 | 申请（专利权）人： | 利特斯公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 控制 波形 发生器 | ||
【权利要求书】：
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