[发明专利]可互换的微型沉积头装置和方法无效
申请号: | 02811139.7 | 申请日: | 2002-05-31 |
公开(公告)号: | CN1512918A | 公开(公告)日: | 2004-07-14 |
发明(设计)人: | 查尔斯·O·爱德华兹;戴维·艾伯塔里;詹姆斯·米德尔顿;博伊德·斯莱德 | 申请(专利权)人: | 利特斯公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郑修哲 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 互换 微型 沉积 装置 方法 | ||
【说明书】:
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