[发明专利]减小结电容的SOI器件有效
| 申请号： | 02811244.X | 申请日： | 2002-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1516903A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 古川俊治 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减小 电容 soi 器件 | ||
【权利要求书】：
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