[发明专利]中空阳极等离子体反应器与方法有效
| 申请号： | 02812094.9 | 申请日： | 2002-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1516887A | 公开（公告）日： | 2004-07-28 |
| 发明（设计）人： | 大卫·W·本辛;巴巴克·卡德霍达扬 | 申请（专利权）人： | 科林研发公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆戈;钟强 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中空 阳极 等离子体 反应器 方法 | ||
【权利要求书】：
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