[发明专利]多端口研磨流体传送系统无效
| 申请号： | 02815140.2 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1537037A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·S·威瑟斯;布伦达·R·门格;利迪亚·维里恩;彼得·N·斯卡佩洛斯;布赖恩·J·唐纳姆;帕特里克·威廉姆斯;特里·金廷·科;克里斯托弗·赫昂－盖恩·李;肯尼思·里斯·雷诺兹;约翰·赫恩;丹尼尔·哈切诺希 | 申请（专利权）人： | 美商·应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多端 研磨 流体 传送 系统 | ||
【权利要求书】：
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