[发明专利]具有利用氮气吹扫的顶部通气口的快速循环腔室有效
| 申请号： | 02815473.8 | 申请日： | 2002-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1539027A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 海尔伦·I·哈尔希;大卫·E·杰可 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 利用 氮气 顶部 通气 快速 循环 | ||
【说明书】：
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