[发明专利]形成光刻用防反射膜的组合物有效
| 申请号： | 02816299.4 | 申请日： | 2002-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1545645A | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 荒濑慎哉;岸冈高广;水泽贤一 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08L33/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;陈海红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 光刻 反射 组合 | ||
【权利要求书】：
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