[发明专利]一氧化硅蒸镀材料及其制造方法有效
| 申请号： | 02816621.3 | 申请日： | 2002-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1547622A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 西冈和雄 | 申请（专利权）人： | 住友钛株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C01B33/113 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉;丁业平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 硅蒸镀 材料 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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