[发明专利]修整工具、修整装置、修整方法、加工装置以及半导体器件制造方法无效
| 申请号： | 02817616.2 | 申请日： | 2002-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1553842A | 公开（公告）日： | 2004-12-08 |
| 发明（设计）人： | 星野进;山本荣一;三井贵彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B53/02;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 修整 工具 装置 方法 加工 以及 半导体器件 制造 | ||
【说明书】：
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