[发明专利]用于等离子室的悬挂式分气歧管有效
| 申请号： | 02817702.9 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1608305A | 公开（公告）日： | 2005-04-20 |
| 发明（设计）人： | 厄恩斯特·凯勒;权原·尚 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵淑萍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 悬挂 式分气 歧管 | ||
【说明书】：
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