[发明专利]光刻用透射UV的混合氟化物晶体无效
| 申请号： | 02817909.9 | 申请日： | 2002-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1555499A | 公开（公告）日： | 2004-12-15 |
| 发明（设计）人： | D·C·埃兰;N·F·博雷利;C·M·史密斯;R·W·斯派罗 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B11/00;G03F1/00;G03C5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 透射 uv 混合 氟化物 晶体 | ||
【权利要求书】：
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