[发明专利]光学元件及其制作方法以及光刻设备和半导体器件的制造方法无效
申请号: | 02819611.2 | 申请日: | 2002-10-02 |
公开(公告)号: | CN1565035A | 公开(公告)日: | 2005-01-12 |
发明(设计)人: | 安德烈·E·雅克辛;埃里克·路易斯;弗雷德里克·比约克;马可·维多斯克;罗曼·克莱因;弗兰克·斯戴特兹 | 申请(专利权)人: | 卡尔赛斯半导体制造技术股份公司 |
主分类号: | G21K1/06 | 分类号: | G21K1/06;G02B1/10 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 元件 及其 制作方法 以及 光刻 设备 半导体器件 制造 方法 | ||
【说明书】:
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