[发明专利]具有加强支持梁的微机电装置及形成微机电系统中的加强支持梁的方法无效
| 申请号： | 02819837.9 | 申请日： | 2002-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1564779A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | T·W·艾夫斯 | 申请（专利权）人： | 惠普公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01P15/08;G01C19/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 加强 支持 微机 装置 形成 系统 中的 方法 | ||
【说明书】：
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