[发明专利]加速确定半导体布线的电迁移特性的方法和装置无效
| 申请号： | 02820276.7 | 申请日： | 2002-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1568430A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 小罗纳德·G·菲利皮;阿尔文·W·斯特朗;蒂莫西·D·沙利文;德博拉·泰比尔;迈克尔·鲁普里奇特;卡罗尔·格雷斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;因菲尼奥恩技术北美公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邸万奎;黄小临 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速 确定 半导体 布线 迁移 特性 方法 装置 | ||
【说明书】：
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