[发明专利]用于蚀刻设置于绝缘板上的薄导电层的方法和设备无效
| 申请号： | 02820506.5 | 申请日： | 2002-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1572009A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 阿芒·贝蒂内利;让－皮埃尔·克勒索;让－克洛德·马丁内斯 | 申请（专利权）人： | 汤姆森许可贸易公司 |
| 主分类号： | H01J9/14 | 分类号： | H01J9/14;C25F3/14;B23H3/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 置于 绝缘 导电 方法 设备 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汤姆森许可贸易公司，未经汤姆森许可贸易公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02820506.5/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：信息处理设备、信息处理方法和计算机程序
- 下一篇：带铰接式环箍耳环的穿耳系统
