[发明专利]小作用力电化学机械处理方法和设备有效
| 申请号： | 02821390.4 | 申请日： | 2002-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1701136A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 布伦特·M·巴绍尔;西普里安·E·乌宗;杰弗里·A·博加特 | 申请（专利权）人： | ASM纳托尔公司 |
| 主分类号： | C25D5/22 | 分类号： | C25D5/22;C25D7/12;C25F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 作用力 电化学 机械 处理 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASM纳托尔公司，未经ASM纳托尔公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02821390.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：露点测量方法和用于执行所述方法的装置
- 下一篇：代谢表型化
