[发明专利]使用冷氢焰清洁玻璃基片的装置和方法无效
| 申请号： | 02822951.7 | 申请日： | 2002-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1589183A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 大卫·T·梁;杜蒂·M·林;陈秀男 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技研究局 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;C03C23/00;C03B32/00;G02F1/1333;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 新*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 冷氢焰 清洁 玻璃 装置 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新加坡科技研究局，未经新加坡科技研究局许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/02822951.7/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于插座的线路内测试的方法和装置
- 下一篇：监测传感器的方法
