[发明专利]具有状态和模型参数估计的半导体批次控制系统无效
| 申请号： | 02823393.X | 申请日： | 2002-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN1592873A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 基思·A.·爱德华兹;周建平(音译);詹姆斯·A.·穆林斯 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯－普里自动控制公司 |
| 主分类号： | G05B13/02 | 分类号： | G05B13/02;G06F19/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 状态 模型 参数估计 半导体 批次 控制系统 | ||
【权利要求书】：
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