[发明专利]确定层厚度的方法和系统无效
| 申请号： | 02823481.2 | 申请日： | 2002-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN1759297A | 公开（公告）日： | 2006-04-12 |
| 发明（设计）人： | 拉里·弗利萨;卡尔·莫兹 | 申请（专利权）人： | 自由度半导体公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 确定 厚度 方法 系统 | ||
【权利要求书】：
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