[发明专利]边缘密封阻隔膜的方法有效
申请号: | 02823801.X | 申请日: | 2002-09-23 |
公开(公告)号: | CN1678409A | 公开(公告)日: | 2005-10-05 |
发明(设计)人: | P·E·伯罗斯;J·C·帕加诺;E·S·马斯特;P·M·马丁;G·L·格拉夫;M·E·格罗斯 | 申请(专利权)人: | 维特克斯系统公司 |
主分类号: | B05D7/00 | 分类号: | B05D7/00;B32B3/02;B32B27/00;H01L51/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 范赤;马崇德 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 边缘 密封 阻隔 方法 | ||
【说明书】:
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