[发明专利]高频电源及其控制方法、和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 02824577.6 | 申请日： | 2002-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1602651A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 速水利泰;大濑刚;高平淳一;岛田淳一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高频 电源 及其 控制 方法 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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