[发明专利]诸如锗硅碳化物波导的波导及其制作方法无效
| 申请号： | 02824729.9 | 申请日： | 2002-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1602371A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 阿尔凯帝·V·萨摩罗伏;迪恩·E·贝尔林 | 申请（专利权）人： | 美商·应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 诸如 碳化物 波导 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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