[发明专利]抑制电弧放电的对应等离子体射频顶电极调谐的等离子体反应器有效
| 申请号： | 02825528.3 | 申请日： | 2002-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1606794A | 公开（公告）日： | 2005-04-13 |
| 发明（设计）人： | D·J·霍夫曼;G·Z·殷;Y·叶;D·凯兹;D·A·小布赫贝格尔;X·赵;K－L·姜;R·B·哈根;M·L·米勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抑制 电弧 放电 对应 等离子体 射频 电极 调谐 反应器 | ||
【权利要求书】：
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