[发明专利]测量温度和热处理的方法及系统有效
申请号: | 02825960.2 | 申请日: | 2002-12-23 |
公开(公告)号: | CN1608199A | 公开(公告)日: | 2005-04-20 |
发明(设计)人: | 大卫·玛尔科穆·卡穆;沙乌娜·科温;马瑟尔·爱得摩德·莱甫兰克斯;格莱格·司徒亚特 | 申请(专利权)人: | 沃泰克工业有限公司 |
主分类号: | G01J5/10 | 分类号: | G01J5/10;G01J5/00;H01L21/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王学强 |
地址: | 加拿大英*** | 国省代码: | 加拿大;CA |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 温度 热处理 方法 系统 | ||
【说明书】:
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