[发明专利]具有可前移的清扫器的电化学机械加工无效
| 申请号： | 02826490.8 | 申请日： | 2002-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1646263A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 布伦特·M·巴索尔;哈利特·N·亚库普奥卢;齐普里安·E·乌佐;胡马云·塔利 | 申请（专利权）人： | ASM纳托尔公司 |
| 主分类号： | B24B21/04 | 分类号： | B24B21/04;B24B37/04;H01L21/288;C25D5/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张祖昌 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 可前移 清扫 电化学 机械 加工 | ||
【权利要求书】：
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