[发明专利]等离子体加工装置和处理装置无效
| 申请号： | 02826884.9 | 申请日： | 2002-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1613279A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;山本直子;山本达志;平山昌树 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社;大见忠弘 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 徐谦;叶恺东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 加工 装置 处理 | ||
【说明书】：
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