[发明专利]高纯度镍或镍合金靶及其制造方法有效
申请号: | 02827194.7 | 申请日: | 2002-11-28 |
公开(公告)号: | CN1615374A | 公开(公告)日: | 2005-05-11 |
发明(设计)人: | 山越康广;宫下博仁 | 申请(专利权)人: | 株式会社日矿材料 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22F1/10;G11B5/851 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 樊卫民;杨青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纯度 镍合金 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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