[发明专利]为减少晶粒的剪应力而控制晶粒固定用嵌角的方法与装置有效
申请号: | 02827273.0 | 申请日: | 2002-12-17 |
公开(公告)号: | CN1615545A | 公开(公告)日: | 2005-05-11 |
发明(设计)人: | R·A·纽曼;J·D·韦德勒 | 申请(专利权)人: | 先进微装置公司 |
主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;H01L21/58;H01L23/495;H01L21/56 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;程伟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 减少 晶粒 剪应力 控制 固定 用嵌角 方法 装置 | ||
【说明书】:
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