[发明专利]用于溅射和再溅射的自离子化和电感耦合的等离子体无效
申请号: | 02828203.5 | 申请日: | 2002-12-10 |
公开(公告)号: | CN1620712A | 公开(公告)日: | 2005-05-25 |
发明(设计)人: | P·丁;Z·徐;R·C·莫塞利;S·伦加拉詹;N·迈蒂;D·A·卡尔;B·秦;P·F·史密斯;D·安杰洛;A·托利亚;J·傅;F·陈;P·戈帕拉贾;X·唐;J·C·福斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料有限公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;H01J37/32 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵蓉民 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 溅射 离子化 电感 耦合 等离子体 | ||
【说明书】:
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