[发明专利]一种制造微机电系统(MEMS)器件结构的方法有效
| 申请号： | 02828414.3 | 申请日： | 2002-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1623122A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | M·W·迈尔斯 | 申请（专利权）人： | 铱显示器公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制造 微机 系统 mems 器件 结构 方法 | ||
【权利要求书】：
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