[发明专利]对于可编程器件使用原子层沉积无效
| 申请号： | 02829486.6 | 申请日： | 2002-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN1650443A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | T·A·劳里;C·H·丹尼森 | 申请（专利权）人： | 奥翁尼克斯公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;梁永 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对于 可编程 器件 使用 原子 沉积 | ||
【说明书】：
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