[发明专利]抗蚀用复合板材和片材及其制造方法无效
| 申请号： | 03100619.1 | 申请日： | 2003-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1473705A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 都正万;卞智永;曺圭元;郑珠镛 | 申请（专利权）人： | 韩国科学技术研究院 |
| 主分类号： | B32B15/01 | 分类号： | B32B15/01;C23C30/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;吴鹏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀用 复合 板材 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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