[发明专利]用于光致抗蚀剂的剥离组合物无效
| 申请号： | 03100735.X | 申请日： | 2003-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1517802A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 朴弘植;姜圣哲;赵弘济;朴爱娜 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄益芬;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【说明书】：
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