[发明专利]膜厚度测量设备与膜厚度测量方法无效
| 申请号： | 03101481.X | 申请日： | 2003-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1432791A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 山田惠三;板垣洋辅;牛木健雄 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张天舒,关兆辉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 厚度 测量 设备 测量方法 | ||
【说明书】：
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