[发明专利]用于用来对衬底进行涂覆的装置的小船式汽化器无效
| 申请号： | 03101653.7 | 申请日： | 2003-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1432660A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | G·费希尔;G·克勒姆;A·韦斯 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军,赵辛 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 用来 衬底 进行 装置 小船 汽化器 | ||
【权利要求书】：
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