[发明专利]多重反应模式的混合负型光阻剂及形成光阻图案的方法有效
| 申请号： | 03101762.2 | 申请日： | 2003-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN1519650A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 宋清潭;庄志新;曾炜展;黄坤源;陈聪裕 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院;长春人造树脂厂股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英;潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多重 反应 模式 混合 负型光阻剂 形成 图案 方法 | ||
【说明书】：
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