[发明专利]一种活性气体发生方法及其装置无效
| 申请号： | 03102115.8 | 申请日： | 2003-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN1522102A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 江南;钱生法 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/42 | 分类号： | H05H1/42;C01B13/11;A61L2/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 活性 气体 发生 方法 及其 装置 | ||
【说明书】：
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