[发明专利]多层高深宽比硅台阶深刻蚀方法无效
| 申请号： | 03104780.7 | 申请日： | 2003-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1438544A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张大成;李婷;邓珂;田大宇;李静;王玮;王兆江;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京华一君联专利事务所 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 高深 台阶 深刻 方法 | ||
【权利要求书】：
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