[发明专利]光源元件、照明装置、曝光装置及曝光方法无效
| 申请号： | 03107145.7 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1444099A | 公开（公告）日： | 2003-09-24 |
| 发明（设计）人： | 小山元夫 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05D25/02;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源 元件 照明 装置 曝光 方法 | ||
【说明书】：
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