[发明专利]对偏移具有低灵敏度的光学位移传感装置有效
申请号: | 03110798.2 | 申请日: | 2003-03-18 |
公开(公告)号: | CN1455224A | 公开(公告)日: | 2003-11-12 |
发明(设计)人: | K·G·马斯雷列兹;B·K·琼斯;K·W·阿瑟顿 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B21/06 | 分类号: | G01B21/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 钱慰民 |
地址: | 日本神奈川*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏移 具有 灵敏度 光学 位移 传感 装置 | ||
【权利要求书】:
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