[发明专利]溶胶－凝胶法制氮化镓纳米多晶薄膜无效
| 申请号： | 03110867.9 | 申请日： | 2003-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1517448A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张继森;秦伟平;赵丹;秦冠仕;吴长锋;林海燕;刘晃清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08;H01L21/20;H01L21/36;B05D1/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 法制 氮化 纳米 多晶 薄膜 | ||
【权利要求书】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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