[发明专利]微位移实时干涉测量仪无效
申请号: | 03115410.7 | 申请日: | 2003-02-14 |
公开(公告)号: | CN1431478A | 公开(公告)日: | 2003-07-23 |
发明(设计)人: | 王向朝;李代林;刘英明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01J9/02;G01B9/02 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位移 实时 干涉 测量仪 | ||
【权利要求书】:
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