[发明专利]扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪无效
| 申请号： | 03116028.X | 申请日： | 2003-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1438655A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 余昶;王晖;邹志强;梁齐;王庆康 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G12B21/04 | 分类号： | G12B21/04;G01N13/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 隧道 显微镜 针尖 自动控制 刻蚀 | ||
【说明书】：
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